氮化硅是在 19 世紀(jì)中葉被發(fā)現(xiàn)的,但由于其共價(jià)鍵合性質(zhì),因此并不易于制造。這最初導(dǎo)致了兩種類型的氮化硅的發(fā)展,即反應(yīng)鍵合氮化硅 (RBSN) 和熱壓氮化硅 (HPSN)。隨后,自 1970 年代以來(lái)又開(kāi)發(fā)了兩種類型:燒結(jié)氮化硅 (SSN),包括賽隆,以及燒結(jié)反應(yīng)鍵合氮化硅 (SRBSN)。
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